拉伸單晶和PBN坩場制造用石墨異形件加工

拉伸單晶和PBN坩場制造用石墨異形件加工拉伸單晶所用石墨異形件加工

石英蠟場制造用石墨坩場和超高純石墨部件加工在Cz法拉伸單晶硅時使用石英坩蝸。石墨異形件加工石英坩期的制造工藝為在石墨模具內裝人天然的水晶粉末（a-Si0,)，在旋轉的同時利用離心力使粉末沿模具內壁附著，然后將多個高純石墨異形件加工插入模具中利用電弧放電加熱至大約2000℃，溶融粉末和內側的粉末變化為溶融石英并透明，冷卻后取出石英址鍋，除去外部粉末即為制品。電極因放電而氧化消耗，由于電極放置在水晶粉末的上方，為不混入金屬雜質需使用超高純石墨。圖2-52所示為石英坩塌制造裝置的概略圖。

PBN(熱分解氮化硼）坩場制造用石墨異形件加工在拉伸單晶化合物時使用PBN坩塌。PBN坩場的制造工藝為，以加工成型的高純石墨模具為基材，利用CVD法在其表面蒸鍍BN。由于石墨的線膨脹系數比PBN的大，冷卻后能容易取出PBN坩場。為了提高PBN的純度，也要求使用高純石墨異形件加工。