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單晶石墨熱場的關鍵部件
石墨坩堝:通常采用三瓣式規劃,避免硅液走漏,使用壽命可達30-50爐次。
加熱器:由等靜壓石墨制成,支持2000℃以上安穩加熱,為單晶生長供給充足熱能。
隔熱體系:由多層石墨氈或碳纖維復合材料構成,熱反射率≥90%,可降低能耗20%-30%。
導流筒:優化熱場氣流分布,提高熱場均勻性。
保護部件:在爐底、金屬電極、托桿等位置設置保護板或保護套,避免漏硅及機械損傷。

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