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真空爐石墨件加工的重要環節包括以下幾個方面,這些環節直接影響產品的質量、功用和壽數:
1.材料挑選
石墨純度:高純度石墨(如等靜壓石墨)具有更好的耐高溫性、抗熱震性和化學穩定性,適用于真空環境。
密度與強度:依據運用需求挑選合適的石墨密度和機械強度,確保在高溫文真空條件下不變形或開裂。
2.精細加工
CNC加工:石墨較脆,需選用高精度數控機床(CNC)進行銑削、車削或鉆孔,防止崩邊或裂紋。
表面光潔度:真空環境下表面粗糙度需嚴峻控制,以削減氣體吸附和雜質開釋。
規范精度:確保加工后的石墨件與真空爐其他部件(如加熱器、隔熱屏)匹配,防止漏氣或熱場不均。
3.清潔處理
去粉塵:加工后需徹底清除石墨粉塵(如用超聲波清洗或高壓氣體吹掃),防止污染真空體系。
高溫烘烤:部分運用需預先高溫處理石墨件,去除吸附的氣體和揮發性雜質。
4.涂層或表面處理(可選)
抗氧化涂層:如碳化硅(SiC)涂層,可進步石墨在高溫下的抗氧化性。
金屬化處理:某些場景需在石墨表面鍍金屬(如鉬、鎢),以改進導電性或焊接功用。
5.質量檢測
規范檢測:運用三坐標測量儀(CMM)或光學投影儀驗證要害規范。
氣密性查驗:關于密封部件,需進行氦質譜檢漏等查驗。
高溫功用查驗:仿照真空爐環境,檢查石墨件的熱穩定性和揮發物開釋量。
6.設備與保護
無污染設備:佩戴潔凈手套操作,防止油脂或灰塵污染。
定時檢查:真空爐工作中需監控石墨件的氧化、裂紋或損耗情況,及時替換。
注意事項:
防止機械沖擊:石墨脆性高,搬運和設備時需輕拿輕放。
環境控制:加工和存儲環境應堅持單調,防止吸潮影響真空功用。
經過嚴峻把控以上環節,可確保石墨件在真空爐中的可靠性和長壽數。詳細工藝需依據真空爐類型(如單晶爐、燒結爐等)和用途調整。

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