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石墨熱場的性能優勢
耐高溫性：石墨熔點達3650℃，可在真空或惰性氣體環境中長期安穩工作，習慣極端高溫條件。
化學安穩性：耐酸堿腐蝕，避免與熔融硅反應生成碳化硅雜質，滿足半導體級硅材料純度要求。
導熱與機械強度：抗壓強度≥80MPa，兼具導電性與結構安穩性，適配大尺寸單晶爐（如36英寸以上硅棒出產）。
本錢效益：石墨資源豐富，加工本錢低于鎢鉬等金屬材料，且使用壽命長，降低概括出產本錢。
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